用于和上拉桿的下螺紋柱配合;所述花蘭體下端設(shè)有下螺紋孔,用于和下拉桿的上螺紋柱配合;所述花蘭體上端和下端通過左連接柱和右連接柱連接;所述左連接柱和右連接柱之間保持間隙;花蘭體旋緊裝置包括立柱、伸縮手柄和兩個(gè)抓手;所述伸縮手柄固定在立柱中部;所述立柱兩端固定有抓手;所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱,使伸縮手柄可推動(dòng)花蘭體自轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型的一種花蘭體旋緊裝置,可以從兩個(gè)位置抓持花蘭體,使旋轉(zhuǎn)花蘭體時(shí)不容易造成花蘭體變形,而且可以在復(fù)雜空間操作花蘭體。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型花蘭體旋緊裝置配合花蘭體,且固定筒剖開后的整體結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是圖1的花蘭體旋緊裝置俯視,且固定筒剖開后的結(jié)構(gòu)示意圖;附圖中:28-上拉桿、29-花蘭體、30-下拉桿、31-下螺紋柱、32-上螺紋柱、68-左連接柱、69-右連接柱、71-立柱、72-伸縮手柄、73-抓手、74-固定筒、75-彈簧、76-活動(dòng)桿、77-左限位板、78-右限位板、79-限位端面、80-穿桿、81-彎桿、82-橡膠頭。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明,但是本實(shí)用新型不局限于以下實(shí)施例。實(shí)施例一:見附圖1~2。一種花蘭體旋緊裝置,用于旋緊花蘭體29。邯鄲哪家開體花蘭比較便宜。天津國(guó)標(biāo)開體花蘭尺寸
也更換了更整潔的內(nèi)層體壁21,減小了對(duì)晶圓30的污染,提高產(chǎn)品質(zhì)量。進(jìn)一步的,所述工藝腔體10底部設(shè)有移動(dòng)塊,所述移動(dòng)塊帶動(dòng)各所述承載段11和各所述軌道段12環(huán)繞所述工藝腔體10旋轉(zhuǎn)移動(dòng)或沿所述工藝腔體10中心徑向移動(dòng)??梢粤私?,所述替換體壁段23可以追隨所述軌道段12移動(dòng),所述內(nèi)層體壁段22可以追隨所述承載段11移動(dòng)。在一個(gè)實(shí)施例中,所述軌道段12為**少一層設(shè)置,所述軌道段12的數(shù)目小于所述承載段11的數(shù)目,以預(yù)留所述承載段11的活動(dòng)位置。更進(jìn)一步的,所述替換體壁段23的數(shù)目為低于或相等所述內(nèi)層體壁段22數(shù)目的一半,且所述替換體壁段23的數(shù)目相等所述軌道段12的數(shù)目,以預(yù)留出內(nèi)層體壁段22移動(dòng)到**的活動(dòng)位置。在本實(shí)施例中,當(dāng)需換出其中隨意一段內(nèi)層體壁段22時(shí),則移動(dòng)該內(nèi)層體壁段22的承載段11,使之移動(dòng)至軌道段12的位置,所述內(nèi)層體壁段22則變成替換體壁段23,此時(shí)則空缺出一段內(nèi)層體壁段22的位置,然后移動(dòng)任意一段干凈的替換體壁段23所在的軌道段12至空缺的內(nèi)層體壁段22所在的承載段11處,所述替換體壁段23則變成內(nèi)層體壁段22,以使替換之后的內(nèi)層體壁段22圍合能形成原有的內(nèi)層體壁21,則完成一次內(nèi)層體壁段22的替換??梢悦靼?,在替換過程中。江蘇鎮(zhèn)巴開體花蘭開體花蘭扭矩與推力計(jì)算作用是這樣的。
在半導(dǎo)體制造工藝中,有多種工藝腔體是運(yùn)用旋轉(zhuǎn)的方法展開工作,但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上。現(xiàn)有技術(shù)中多數(shù)是對(duì)工藝腔體的體壁展開定期維護(hù)與保養(yǎng),需將整個(gè)工藝腔體的體壁拿下去展開清洗,同時(shí)需相應(yīng)的體壁備用更換,致使減低了生產(chǎn)效率。為了有效性的支配上述疑問,本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體,能夠自動(dòng)更換及清洗腔體的體壁,且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示,圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖。本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體10,包括:內(nèi)層體壁21,由所述內(nèi)層體壁21平分而成的內(nèi)層體壁段22;由承載所述內(nèi)層體壁21的承載物平分而成的承載段11,所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于;在所述內(nèi)層體壁21**設(shè)立的**少一個(gè)替換體壁段23,所述替換體壁段23與所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸相同;承載并移動(dòng)所述替換體壁段23的軌道段12;所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同,所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實(shí)用新型通過將所述內(nèi)層體壁21拆分為多個(gè)內(nèi)層體壁段22,并在內(nèi)層體壁21**設(shè)立替換體壁段23,用以適時(shí)替換被水污染的內(nèi)層體壁段22,從而可以分批次對(duì)內(nèi)層體壁段22展開替換,既不影響生產(chǎn)。
所述替換體壁段23需和所述內(nèi)層體壁段22逐一對(duì)應(yīng),所述承載段11和所述軌道段12推薦也是逐一對(duì)應(yīng)。此時(shí),所述替換體壁段23的數(shù)目相等所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目。此種情形可以利用于所述工藝腔體10為不規(guī)則形狀。推薦的,所述移動(dòng)塊與任一所述承載段11或任一所述軌道段12為總體構(gòu)造。在一個(gè)實(shí)施例中,所述移動(dòng)塊與任一所述承載段11及所述承載段11所對(duì)應(yīng)的內(nèi)層體壁段22為一個(gè)總體構(gòu)造,和/或所述移動(dòng)塊與任一所述軌道段12及所述軌道段12所對(duì)應(yīng)的替換體壁段23為一個(gè)總體構(gòu)造,如此則可以使所述工藝腔體10的構(gòu)造簡(jiǎn)單化。在本實(shí)用新型中,所述工藝腔體10還包括**少一個(gè)噴嘴13,所述噴嘴13設(shè)立于所述軌道段12的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軌跡上方。所述噴嘴13用以清洗被替換之后的替換體壁段23,若只設(shè)立一個(gè)所述噴嘴13,則需將所述軌道段12上的所有替換體壁段23均轉(zhuǎn)動(dòng)至所述噴嘴13下方,依次開展清洗。進(jìn)一步的,當(dāng)所述替換體壁段23的數(shù)目較為少時(shí),例如為1段或2段等,則**需一個(gè)噴嘴13,用以清洗替換后的1段或2段所述替換體壁段23。當(dāng)所述替換體壁段23的數(shù)目比起多時(shí),例如替換體壁段23的數(shù)目為為低于或相等所述內(nèi)層體壁段22數(shù)目的一半時(shí),為加速清洗和替換的速率,則可以增加所述噴嘴13的數(shù)目。河北洺洲緊固件專制各種開體花蘭各種型號(hào)美式開體花蘭弓形開體花蘭澳標(biāo)開體花蘭。
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擬解決現(xiàn)有鋼棍旋轉(zhuǎn)花蘭體存在不便利及不安全等問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種花蘭體旋緊裝置,用于旋緊花蘭體,所述花蘭體上端設(shè)有上螺紋孔,用于和上拉桿的下螺紋柱配合;所述花蘭體下端設(shè)有下螺紋孔,用于和下拉桿的上螺紋柱配合;所述花蘭體上端和下端通過左連接柱和右連接柱連接;所述左連接柱和右連接柱之間保持間隙;包括立柱、伸縮手柄和兩個(gè)抓手;所述伸縮手柄固定在立柱中部;所述立柱兩端固定有抓手;所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱,使伸縮手柄可推動(dòng)花蘭體自轉(zhuǎn)。由上述結(jié)構(gòu)可知,所述伸縮手柄固定在立柱中部,在沒有遇到障礙時(shí),可以把伸縮手柄調(diào)到更長(zhǎng)位置,增大力臂,方便旋動(dòng)花蘭體;遇到障礙時(shí),縮短伸縮手柄,躲避障礙物;由于建筑工地的復(fù)雜性,采用伸縮手柄可調(diào)節(jié)長(zhǎng)度,適應(yīng)性更好。立柱兩端固定有抓手,所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱,這樣左連接柱和右連接柱都有兩個(gè)相隔一定距離的位置被抓持,不容易造成花蘭體變形,保護(hù)了花蘭體。進(jìn)一步的,所述伸縮手柄包括固定筒、彈簧和活動(dòng)桿;所述固定筒固定在立柱中部;所述固定筒左端設(shè)有左限位板,右端設(shè)有右限位板;所述右限位板上穿有活動(dòng)桿。天津國(guó)標(biāo)開體花蘭尺寸
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