形成帶有沉淀物的固液混合物,打開(kāi)一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,固液混合物進(jìn)入一級(jí)過(guò)濾罐16的過(guò)濾筒中,先由一級(jí)過(guò)濾罐16的過(guò)濾筒過(guò)濾得到一級(jí)線性酚醛樹(shù)脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復(fù)3次數(shù)后,一級(jí)線性酚醛樹(shù)脂回收完成,關(guān)閉一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級(jí)過(guò)濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦?,即二?jí)線性酚醛樹(shù)脂,利用ph計(jì)檢測(cè)溶液ph值,當(dāng)達(dá)到5-7范圍內(nèi)即可,打開(kāi)二級(jí)過(guò)濾罐13進(jìn)料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過(guò)濾罐13中,由其中的過(guò)濾筒過(guò)濾得到二級(jí)線性酚醛樹(shù)脂,廢液二級(jí)過(guò)濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過(guò)濾得到的一級(jí)線性酚醛樹(shù)脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級(jí)線性酚醛樹(shù)脂可用于其他場(chǎng)合。剝離液的大概費(fèi)用大概是多少?嘉興半導(dǎo)體剝離液產(chǎn)品介紹
常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導(dǎo)體集成電路等工藝制造過(guò)程中,需要通過(guò)多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進(jìn)一步用剝離液將涂覆在微電路保護(hù)區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產(chǎn)工藝主要包含光阻涂布、顯影、去光阻、相關(guān)清洗作業(yè)四大階段,其中在去光阻階段會(huì)產(chǎn)生部分剝離液。印制電路板生產(chǎn)工藝相當(dāng)復(fù)雜。不僅設(shè)備和制造工藝的科技含量高,工藝流程長(zhǎng),用水量大,而且所用的化學(xué)藥品(包括各種添加劑)種類多、用量大。因此,在用減成法生產(chǎn)印刷線路板的過(guò)程中,產(chǎn)污環(huán)節(jié)多,種類繁雜,物料損耗大??煞譃楦煞庸?設(shè)計(jì)和布線、模版制作、鉆孔、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內(nèi)層板黑膜氧化、去孔壁樹(shù)脂膩污、沉銅、電鍍、顯影、蝕刻、脫膜、絲印、熱風(fēng)整平等)過(guò)程。其中在脫模(剝膜)工序?yàn)榱嗣摮龔U舊電路板表面殘留焊錫,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩(wěn)定劑,苯并三氮唑?yàn)殂~的緩蝕劑進(jìn)行操作,整個(gè)工序中會(huì)產(chǎn)生大量的剝離液,有機(jī)溶劑成分較大。 安徽剝離液溶劑天馬微電子用的哪家的剝離液?
當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的過(guò)濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過(guò)閥門開(kāi)關(guān)60關(guān)閉當(dāng)前級(jí)別腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20與過(guò)濾器30之間的液體流通,從而可以在閥門開(kāi)關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過(guò)濾器30進(jìn)行清理并不會(huì)導(dǎo)致之后的下一級(jí)腔室102的剝離進(jìn)程無(wú)法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級(jí)向玻璃基板分別提供剝離液;與多個(gè)腔室10分別對(duì)應(yīng)連接的多個(gè)存儲(chǔ)箱20,各級(jí)腔室10分別通過(guò)管道與相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,存儲(chǔ)箱20用于收集和存儲(chǔ)來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液;過(guò)濾器30用于過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室101的存儲(chǔ)箱20的剝離液,并且過(guò)濾器30還可以通過(guò)管道與下一級(jí)腔室102連接,從而過(guò)濾器30可以將過(guò)濾后的剝離液輸送給下一級(jí)腔室102。各腔室10設(shè)計(jì)為適合進(jìn)行剝離制程,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設(shè)計(jì)在此不再贅述。各級(jí)腔室10分別于相應(yīng)的存儲(chǔ)箱20通過(guò)管道連接,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲(chǔ)箱20中,由存儲(chǔ)箱20來(lái)收集和存儲(chǔ)。各級(jí)腔室10的存儲(chǔ)箱20分別與相應(yīng)的過(guò)濾器30通過(guò)管道連接,經(jīng)存儲(chǔ)箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應(yīng)的過(guò)濾器30過(guò)濾后才經(jīng)管道輸送至下一級(jí)腔室102。
本發(fā)明下述示例性實(shí)施例可以多種不同的形式來(lái)實(shí)施,并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解的是,提供這些實(shí)施例是為了使得本發(fā)明的公開(kāi)徹底且完整,并且將這些示例性具體實(shí)施例的技術(shù)方案充分傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。如圖1所示,本發(fā)明提供的光刻膠剝離去除方法主要實(shí)施例,用于半導(dǎo)體制造工藝中,可應(yīng)用于包括但不限于mos、finfet等所有現(xiàn)有技術(shù)中涉及光刻膠剝離去除的生產(chǎn)步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導(dǎo)體襯底上淀積介質(zhì)層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執(zhí)行離子注入:s4,采用氮?dú)浠旌蠚怏w執(zhí)行等離子刻蝕,對(duì)光刻膠進(jìn)行干法剝離;s5,對(duì)襯底表面進(jìn)行清洗。本發(fā)明刻膠剝離去除方法主要實(shí)施例采用能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應(yīng)生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應(yīng)速率相等的等離子體氮?dú)浠旌蠚怏w能更高效的剝離去除光刻膠,有效降低光刻膠殘留。進(jìn)而避免由于光刻膠殘留造成對(duì)后續(xù)工藝的影響,提高產(chǎn)品良率。參考圖11和圖12所示,在生產(chǎn)線上采用本發(fā)明的光刻膠剝離去除方法后,監(jiān)控晶圓產(chǎn)品缺陷由585顆降低到32顆,證明本發(fā)明光刻膠剝離去除方法的的改善的產(chǎn)品缺陷,促進(jìn)了產(chǎn)品良率的提升。博洋剝離液供應(yīng)廠商,專業(yè)分離設(shè)備,智能研發(fā),工程項(xiàng)目,經(jīng)驗(yàn)豐富,質(zhì)量可靠,歡迎隨時(shí)來(lái)電咨詢!
濕電子化學(xué)品位于電子信息產(chǎn)業(yè)偏中上游的材料領(lǐng)域。濕電子化學(xué)品上游是基 礎(chǔ)化工產(chǎn)品,下游是電子信息產(chǎn)業(yè)(信息通訊、消費(fèi)電子、家用電器、汽車電子、 LED、平板顯示、太陽(yáng)能電池、**等領(lǐng)域)。濕電子化學(xué)品的生產(chǎn)工藝主要采用物 理的提純技術(shù)及混配技術(shù),將工業(yè)級(jí)的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W(xué)試劑,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學(xué)試劑。濕電子化學(xué)品行業(yè)是精細(xì)化工和電 子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點(diǎn),具有品種多、 質(zhì)量要求高、對(duì)環(huán)境潔凈度要求苛刻、產(chǎn)品更新?lián)Q代快、產(chǎn)品附加值高、資金投入 量大等特點(diǎn),是化工領(lǐng)域相當(dāng)有發(fā)展前景的領(lǐng)域之一。剝離液有怎么進(jìn)行分類的。上海哪家蝕刻液剝離液主要作用
如何正確使用剝離液。嘉興半導(dǎo)體剝離液產(chǎn)品介紹
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2020-2024年中國(guó)剝離液行業(yè)市場(chǎng)供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,剝離液屬于濕電子化學(xué)品的重要品類,近幾年受新能源、汽車電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,我國(guó)濕電子化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)增,2019年我國(guó)濕電子化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到100億元左右,需求量約為138萬(wàn)噸。隨著剝離液在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用增長(zhǎng),剝離液產(chǎn)量以及市場(chǎng)規(guī)模隨之?dāng)U大,2019年我國(guó)半導(dǎo)體用剝離液需求量約為,只占據(jù)濕電子化學(xué)品總需求量的。從競(jìng)爭(zhēng)方面來(lái)看,當(dāng)前全球剝離液的生產(chǎn)由濕電子化學(xué)品企業(yè)主導(dǎo),主要集中在歐美、日韓以及中國(guó),代表性企業(yè)有德國(guó)巴斯夫、德國(guó)漢高、美國(guó)霍尼韋爾、美國(guó)ATMI公司、美國(guó)空氣化工產(chǎn)品公司、三菱化學(xué)、京都化工、住友化學(xué)、宇部興產(chǎn)、關(guān)東化學(xué),以及中國(guó)的江陰江化微、蘇州瑞紅、中國(guó)臺(tái)灣聯(lián)仕電子等企業(yè)。 嘉興半導(dǎo)體剝離液產(chǎn)品介紹